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近十幾年來,石家莊電子行業(yè)生產(chǎn)工藝突飛猛進(jìn),由于電子產(chǎn)品對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的要求越來越高,因此石家莊電子廠車間凈化工程具有特殊的施工難點(diǎn)。假如電子廠房過于干燥容易產(chǎn)生靜電,造成電子產(chǎn)品的電路損壞,濕度過高又容易讓電子產(chǎn)品產(chǎn)生裂紋,使之成為殘次品。為了保證電子產(chǎn)品的出場(chǎng)質(zhì)量,所以必須嚴(yán)格控制電子廠凈化車間的溫濕度。
有人或許會(huì)問了,那么電子廠凈化車間的溫濕度應(yīng)該控制在多少度為宜呢?其實(shí)這沒有標(biāo)準(zhǔn)答案,這需要根據(jù)電子產(chǎn)品的加工加工工藝要求才能確定,滿足加工工藝條件后,再次需要考慮的就是人的舒適感。比如在大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的光刻曝光工藝中,作為掩膜板材料的玻璃與硅片的熱膨脹系數(shù)的差要求越來越小。直徑100um的硅片,溫度上升1度,就引起了0。24um線性膨脹,所以必須有±0。1度的恒溫,而且由于人體出汗后,會(huì)對(duì)產(chǎn)品造成污染,因此這就要求其濕度值要較低,汗液中含有氯化鈉,對(duì)于怕鈉的半導(dǎo)體車間不宜超過25度。
石家莊電子廠凈化車間濕度過高產(chǎn)生問題也很多,當(dāng)相對(duì)濕度超過50%時(shí),靜電荷開始迅速消散,但是當(dāng)相對(duì)濕度小于30%時(shí),它們可以在絕緣體或者未接地的表面上持續(xù)存在很長(zhǎng)一段時(shí)間。相對(duì)濕度在35%到40%之間可以作為一個(gè)令人滿意的折中,半導(dǎo)體無塵車間、潔凈室一般都使用額外的控制裝置以限制靜電荷的積累。很多化學(xué)反應(yīng)的速度,包括腐蝕過程,將隨著相對(duì)濕度的增高而加快。所有暴露在無塵車間、潔凈室周圍空氣中的表面都很快地被覆蓋上至少一層單分子層的水。當(dāng)這些表面是由可以與水反應(yīng)的薄金屬涂層組成時(shí),高濕度可以使反應(yīng)加速。幸運(yùn)的話,一些金屬,例如鋁,可以與水形成一層保護(hù)型的氧化物,并阻止進(jìn)一步的氧化反應(yīng);但還有相反的情況,比如氧化銅,是不具有保護(hù)能力的,所以在高濕度的環(huán)境中,銅制產(chǎn)品表面非常容易受到腐蝕。
電子廠凈化車間的溫濕度控制主要由生產(chǎn)工藝決定,但其精度同時(shí)也要看其房間的大小。例如計(jì)量室、光柵刻線室的房間較小,溫濕精度要求高。精密儀器制造和裝配車間是比較大的是個(gè)生產(chǎn)車間,溫濕精度要求較低。由此可見,房間的大小與恒溫恒濕車間的精度也有很大關(guān)系。
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